MODELTYPE | IM-60-SM | IM-60-DM | IM-60-SA | IM-60-DA |
Ⅰ. Основныне параметры |
|
|
|
|
1 Детектор | SE | SE+BSE | SE | SE+BSE |
2 Платформа (Storke) | X,Y(40㎜), R(360˚) 3-осевая ручная | X,Y(40㎜), R(360˚) 3-осевая ручная | X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная | X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная |
3 Разрешение | 10 нм | |||
4 Ускоряющее напряжение | 5~30 кВ | |||
5 Увеличение | 20x~60,000x | |||
6 Макс размер образца | 80(D) x 40(H) мм | |||
Ⅱ. Электронная оптика |
| |||
1Электронная пушка | Вольфрамовая (W) нить накала | |||
2 Апертура(O.L) | Одиночного типа | |||
3Сдвиг пучка | X.Y 100 мкм (±50) | |||
Ⅲ. Система изображений |
| |||
1 Дисплей | 22 дюйм LCD | |||
2Формат | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |||
3 OS | Windows10 | |||
4 Режим сканирования | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |||
5 Автоматизация | Автофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пистолета (с помощью катушки выравнивания) | |||
Ⅴ. Вакуум |
| |||
1 Режим вакуума | Высокий вакуум | |||
2 Система насососв | Начальный вакуум: роторный(100 л), Высокий вакуум: турбомолекулярный(80L) / Полная автоматизация | |||
Ⅵ. Размеры |
| |||
1 SEM | 480(W)x480(D)x1180мм, 90кг | |||
2 Роторный насос | 400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кг | |||
Ⅶ. Дополнительно |
| |||
1 SEM | CCD CAMERA(навигационный режим), Джойстик контроллер | |||
2 Опция | Низкий вакуум, EDS, Охлаждение платформы, STEM детектор |